但可惜。 虽然林本艰会说中文,但在这样的全球性研讨会上,演讲用的还是英语。 与此前一样,陈宇也感觉在听天书。 听了好一会,陈宇只听到干式,湿式什么的。 “张总,那个林本艰说的干式和湿式是什么意思?” “说的是生产光刻机的一种技术工艺,目前我们大部分普遍用的是干式光刻机生产工艺。也就是用空气做为镜头与晶圆间的介质,让光罩上的图形在晶圆上成象。不过,这个林本艰觉得,还可以用一种湿式工艺。” “什么是湿式?” “他说的这个湿式名字叫做浸润式,
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